点击图片查看原图
产品描述
上海伯东销售维修 Pfeiffer 干式真空泵（多级罗茨泵）A 100 L-A 200 L, 用于洁净制程的整体式干泵, 紧凑设计, 大抽速, 低能耗, 满足半导体行业机台内直接安装和快速抽空的设计要求, 是load-lock、传送腔及其他非腐蚀性工艺的完美解决方案.
干式真空泵 A 100 L-A 200 L平均故障间隔时间超过 195000 小时, 提供干燥无尘的洁净真空. 低噪音和低振动是该水冷型干泵的其他优势, 小巧的体积保证了其在大型机台内集成的便利性, 是各大设备厂商首选.
干式真空泵 A 100 L,A 200 L 产品优势：
上海伯东 Pfeiffer 干式真空泵 A 100 L-A 200 L 主要优点:
1.高气流量，大抽速
2.结构紧凑，占地面积小
3.易于集成，运行成本低
4.低噪音和低震动，无油无尘
5.即插即用系统：集成型监察装置
6.干式真空泵 RS232 / RS485 接口可选
干式真空泵 A 100 L,A 200 L 技术参数：
Pfeiffer 干式真空泵 A 100 L-A 200 L 技术参数
| portant;">
型号 |
portant;">
进气口尺寸 DN |
portant;">
极限压力 hPa |
portant;">
抽速 |
portant;">
噪音比 |
portant;">
重量 |
| portant;">
m3/h |
portant;">
dB (A) |
portant;">
kg |
|||
| portant;">
A 100 L |
portant;">
50 |
portant;">
6.6 X 10-3 |
portant;">
100 |
portant;">
58 |
portant;">
100 |
| portant;">
A 100L ES |
portant;">
50 |
portant;">
7 X 10-4 |
portant;">
100 |
portant;">
55 |
portant;">
100 |
| portant;">
A 200 L |
portant;">
50 |
portant;">
8 X 10-3 |
portant;">
200 |
portant;">
58 |
portant;">
100 |
L:标准版本 ES:节能版本
干式真空泵 A 100 L,A 200 L 抽速图：
干式真空泵 A 100 L-A 200 L 抽速图
干式真空泵 A 100 L,A 200 L 在售型号：
干式真空泵 A 100 L 标准版本
冷却水循环，在前端配置运行时间记录仪和三色 LED 指示灯时时显示泵当前状态。
主要在售型号：
A 100 L 标准版本，低电压，16 针 I/O
A 100 L 标准版本，低电压，19 针 I/O
A 100 L 标准版本，低电压，RS232/485 接口，16 针 I/O
A 100 L 标准版本，低电压，RS232/485 接口，19 针 I/O
A 100 L 标准版本，高电压，16 针 I/O
A 100 L 标准版本，高电压，19 针 I/O
A 100 L 标准版本，高电压，RS232/485 接口，16 针 I/O
A 100 L 标准版本，高电压，RS232/485 接口，19 针 I/O
A 100 L ES 节能版本
紧凑型干泵集成节能模块，有效减少了 50% 的耗电量。冷却水循环，在前端配置运行时间记录仪和三色 LED 指示灯时时显示泵当前状态。
主要在售型号：
A 100 L ES 节能版本，低电压，16 针 I/O
A 100 L ES 节能版本，低电压，19 针 I/O
A 100 L ES 节能版本，低电压，RS232/485 接口，16 针 I/O
A 100 L ES 节能版本，低电压，RS232/485 接口，19 针 I/O