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KRI 考夫曼离子源 KDC 100 产品描述上海伯东代理美国 KRI考夫曼离子源KDC 100, 属于中型规格栅网离子源.离子束可选聚焦/ 平行/ 散射.离子束流: 400 mA; 离子动能: 100-1200 V; 流量: 2-20 sccm; 中和器: 灯丝.采用双阴极灯丝和自对准栅网.加热
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2021-03-22 |
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美国 KRI 射频离子源 RFICP 140 产品描述上海伯东代理美国考夫曼博士设立的考夫曼公司 KRI射频离子源RFICP 140 是一款紧凑的有栅网离子源, 离子束可选聚焦, 平行, 散射.离子束流: 600 mA; 离子动能: 100-1200 V; 中和器:LFN 2000.采用射频技术产生
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2021-03-22 |
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美国 KRI 射频离子源 RFICP 40 产品描述上海伯东代理美国考夫曼博士设立的考夫曼公司 KRI射频离子源RFICP 40,离子束可选聚焦/ 平行/ 散射.KRI 射频离子源 RFICP 40 属于大面积射频离子源,离子束流: 100 mA; 离子动能: 100-1200 V; 中和器:LFN 2000
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2021-03-22 |
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美国 KRI 射频离子源 RFICP 100 产品描述上海伯东代理美国考夫曼博士设立的考夫曼公司 KRI射频离子源RFICP 100,离子束可选聚焦, 平行, 散射.KRI 射频离子源属于大面积射频离子源(栅网离子源),离子束流: 350 mA; 离子动能: 100-1200 V; 中和器:LFN 2
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2021-03-22 |
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美国 KRI 线性霍尔离子源 eH Linear 产品描述上海伯东代理美国考夫曼博士设立的考夫曼公司 KRI 线性离子源使用eH 400做为模组,能应用于宽范围的衬底,离子源长度高达1米,通过严格调整模组间的距离可以实现最佳的均匀性和离子流.由于模组是平行放置,大大
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2021-03-22 |
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美国 KRI 霍尔离子源 Gridless eH 系列 产品描述上海伯东代理美国考夫曼博士设立的考夫曼公司 KRI霍尔离子源eH 系列属于宽束型离子源, 散射角度45°.霍尔离子源气体流量可选 2-25sccm/ 2-50sccm/ 2-50sccm/ 2-75sccm/ 5-100sccm 等不同级别.霍尔离子源电流
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2021-03-22 |
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美国 KRI 霍尔离子源 eH 400 产品描述上海伯东代理美国考夫曼博士设立的考夫曼公司 KRI霍尔离子源eH 400低成本设计提供高离子电流,霍尔离子源eH 400尺寸和离子能量特别适合中小型的真空系统,可以控制较低的离子能量,通常应用于离子辅助镀膜,预清
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2021-03-22 |
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美国 KRI 霍尔离子源 eH 1000 产品描述上海伯东代理美国考夫曼博士设立的考夫曼公司 KRI霍尔离子源eH 1000高效气体利用,低成本设计提供高离子电流,特别适合中型真空系统. 属于无栅网离子源.通常应用于离子辅助镀膜,预清洗和低能量离子蚀刻.尺寸:
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2021-03-22 |
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